基于微电子机械系统微型光谱仪的研究与进展

2010/11/22   下载量： 121 次

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结合已报道的微型光谱仪,介绍了微电子机械系统技术在多种微型光谱仪中的应用,详细阐述了这些微型光谱仪的原理和相应的制作工艺,并展望了随着微电子机械系统技术的发展,微型光谱仪的应用前景和发展趋势。

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北京飞凯曼科技有限公司
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