等离子清洗机/等离子处理机在IC半导体领域的应用

2019-04-25 15:50  下载量:2

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等离子处理系统目前可用于半导体领域,例如清洁,蚀刻,表面活化和提高可制造性;先进半导体封装和组装(ASPA),晶圆级封装(WLP);封装,成型

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