近距离蒸发镀膜 （ CSS）炉

近距离蒸发镀膜 （ CSS）炉

参考价：¥5万 - 10万
型号： OTF-1200X-RTP-II
产地： 安徽
品牌： 合肥科晶
评分：
核心参数
合肥科晶材料技术有限公司
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产品详情

OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸发管式炉，专门针对于用PVD或CSS法来制作薄膜。此款管式炉炉管直径为11" OD，炉管内载样盘可放置3" 的圆形或2"x2"的方形基片。加热元件为两组红外灯管，分别安装在腔体的顶端和底部，其升温速率高达20oC/S 。温控系统为PID30段程序化控制，控温精度为+/-1oC。仪器面板上带有RS485接口，若仪表内配有控温软件，就可将升温程序和曲线导出.
 

技术参数

真空腔体

  • 腔体为一高纯石英管

  • 尺寸：  11" OD x 10.8"ID x 9" H 

真空法兰

  • 真空法兰材质为316不锈钢制作

  • 顶部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口

  • 底部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口

  • 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封，通过真空度可达10-2 torr两个法兰都可以通过手动操作进行上下移动

  • 一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可精确测量腔体内真空度

                          （点击图片查看详细资料）

混气系统

可以选择两路的混气系统于此款管式炉搭配使用（本公司生产多路浮子和多路质子混气系统）
               

加热元件和载样台

  • 由两组IR红外灯管进行加热

  • 额定功率800 W     总功率：1600W 

  • 为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷机构上

  • 一个3"的基片载样台安装腔体顶部

  • 紧贴顶部加热元件上安装有一氮化铝基片（3"Dia x0.5mm Thick ），使其仪器使用时样品基片上的温度更加均匀

  • 3"的石墨坩埚可以放在底部加热元件上来盛装蒸发料 
        


热电偶

 

 

两个K型热电偶分别安装在上下法兰上

温控系统

  • 两个控温系统都为PID30段程序化控温

  • 可以选购PC控温软件，将温度程序设置和温度曲线导入电脑中

                   

工作温度

  • 两个加热区域单独工作的最高温度：      <= 650oC

  • 两个加热区域最大温差:  <= 350 oC

加热和冷却速率

  • 加热速率:   > 8  oC /S

  • 冷却速率:   > 10  oC /S  ( 600 - 100oC)

电源

208 - 240VAC, 单相, （需20A的空气开关）

可选配件

 本公司出售真空泵和水冷系统

                

质保期       

一年质保期 终身维护 (不包括炉管、密封圈和加热元件损耗件 )

质量认证

  CE 


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