OTF-1200X-5S是一款CE认证的小型开启式管式炉,其最高工作温度可以达到1000℃。炉管Φ130mm的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰,可在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统,可设置30段升降温程序,控温精度为+/- 1℃。此款管式炉最多可对4英寸的晶片进行退火。
技术参数
炉体结构 | |
功率 | 3KW |
电压 | 220VAC 50/60Hz |
最高工作温度 | 1000℃(<1小时) |
连续工作温度 | 900℃ |
最大加热速率 | 20℃/min |
加热区
| 加热区长度:300mm 恒温区长度: 100 mm (+/-1oC ) 140 mm (+/-2oC )
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温控系统
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欧陆仪表(可选) | |
控温精度 | +/- 1°C |
炉管 | 石英管,尺寸:130mm O.D x 120mm I.D x 640mmL 配有2个氧化铝管堵,使用设备时应放在炉管两端,保证恒温区和法兰密封性 可选购石英管堵,提高炉管内的洁净度和帮助获得高真空
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真空密封法兰
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真空压力表 | |
铠装热电偶(可选) | |
尺寸 | |
净重 | 48 Kg |
质保期 | 一年质保期,终生维护(不包含炉管,密封圈和加热元件) |
质量认证 | |
应用注意事项 | 炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度<1100℃ 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)
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