Al2O3+Si薄膜(SOS)进口料

Al2O3+Si薄膜(SOS)进口料

报价：面议
型号： Al2O3+Si薄膜(SOS)
产地： 美国
品牌： 合肥科晶
评分：
合肥科晶材料技术有限公司
金牌会员 丨 12年
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产品详情
产品名称：

Al2O3+Si薄膜(SOS)进口料(大尺寸Silicon-on-Sapphire)

常规尺寸：

 dia100;单抛

 

技术参数：

Si晶向：<100>

Si掺杂类型：本征；不掺杂

Si厚度：0.6um +/- 0.06 um 

Si电阻率：> 100 ohm.cm

Al2O3基片：R plane with single flat

Al2O3尺寸：dia100 x 0.53 mm 

平面度（flatness）：10um

平行性（Parallelism)：20um

抛光情况：单抛Projected C-Axis: 45 degree +/- 2 degree

备注：可按照客户要求在C plane Al2O3上镀Si

 

标准包装：

1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒装

 

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