型号: | Si上镀Al薄膜(Aluminum Film on Silicon Wafer) |
产地: | 美国 |
品牌: | 合肥科晶 |
评分: |
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产品名称: | Si上镀Al薄膜(Aluminum?Film?on?Silicon?Wafer) |
常规尺寸: | dia 4" ±0.5 mm x 0.525 ±0.025 mm |
技术参数: | Al薄膜厚度:3um 薄膜电阻率:2.65 micro ohm-cm 薄膜结晶:Weak (111) - oriented poly-crystals 薄膜表面粗糙度:4.87 nm and < 10 nmSi 导电类型:N型Si 电阻率:<0.005?ohm-cm?;1-10ohm-cm? Si晶向:<100>±0.5°抛光情况:单抛
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标准包装: | 1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒装 |
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