特征概览:
-
用于监测复杂工艺制程四极质谱分析仪系统,检测范围:0-100,0-200和0-300amu
-
允许7天24小时连续监控,提高产品良率及产能,降低生产成本
-
紧凑型设计可安装于每个高压强真空系统
-
HexBlock TM 取样系统使系统性能最佳化
-
内置压力传感器(CDG),用于工艺压强监测和提供联锁保护
-
备用可选的标准气体,用于调谐和校正
-
封闭式离子源可阻挡腐蚀性气体和反应性气体,并可检测ppm量级的污染物
-
重量轻,易搬运
应用:
-
高压强真空系统(< 2个大气压)检漏,气体纯度,污染检测,工艺制程监控及刻蚀终点探测 (Endpoint),涉及领域:材料,传统高压强真空系统,半导体,平板显示器及太阳能等行业PVD,CVD及刻蚀系统
英福康(广州)真空仪器有限公司为您提供Transpector CPM 气体分析系统,nullTranspector CPM产地为美国,属于在线自动监测系统,除了Transpector CPM 气体分析系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多在线自动监测系统,英福康客服电话400-803-0155,售前、售后均可联系。