Transpector CPM 气体分析系统

Transpector CPM 气体分析系统

参考价：面议
型号： Transpector CPM
产地： 美国
品牌：
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英福康（广州）真空仪器有限公司
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产品详情
特征概览:
  • 用于监测复杂工艺制程四极质谱分析仪系统，检测范围：0-100，0-200和0-300amu
  • 允许7天24小时连续监控，提高产品良率及产能，降低生产成本
  • 紧凑型设计可安装于每个高压强真空系统
  • HexBlock TM 取样系统使系统性能最佳化
  • 内置压力传感器（CDG），用于工艺压强监测和提供联锁保护
  • 备用可选的标准气体，用于调谐和校正
  • 封闭式离子源可阻挡腐蚀性气体和反应性气体，并可检测ppm量级的污染物
  • 重量轻，易搬运
 
应用：
  • 高压强真空系统（< 2个大气压）检漏，气体纯度，污染检测，工艺制程监控及刻蚀终点探测 （Endpoint），涉及领域：材料，传统高压强真空系统，半导体，平板显示器及太阳能等行业PVD，CVD及刻蚀系统
英福康（广州）真空仪器有限公司为您提供Transpector CPM 气体分析系统，nullTranspector CPM产地为美国，属于在线自动监测系统，除了Transpector CPM 气体分析系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多在线自动监测系统,英福康客服电话400-803-0155，售前、售后均可联系。

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