SionTM 射频放弧探测器

SionTM 射频放弧探测器

参考价：面议
型号： Sion TM RF Detector
产地： 美国
品牌：
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英福康（广州）真空仪器有限公司
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产品详情
特征概览:
  • 非接触式超小设计，监测高功率射频电源的电流及电压传输
  • 方便替换传统的光谱仪，准确探测刻蚀工艺的终点
  • 监测腔体是否刻蚀干净及过度刻蚀，缩短刻蚀时间和降低气体成本，提高生产机台使用率
  • 高速采样频率，可达2万赫兹
 
应用：
  • 用于半导体，平板显示器及太阳能等行业PVD，CVD及刻蚀腔体工艺等离子体放弧探测及刻蚀终点探测（Endpoint）。
英福康（广州）真空仪器有限公司为您提供SionTM 射频放弧探测器Sion TM RF Detector，nullSion TM RF Detector产地为美国，属于在线自动监测系统，除了SionTM 射频放弧探测器的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多在线自动监测系统,英福康客服电话400-803-0155，售前、售后均可联系。

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