Quantus LP100 低压气体光谱分析仪

Quantus LP100 低压气体光谱分析仪

参考价:面议
型号: Quantus LP100
产地: 美国
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产品详情
特征概览:
  • 等离子体频率400M Hz, 光波长范围:190-890 纳米
  • 易更换等离子体组件,低的运行维护费
  • KF25 标准连接口
  • 良好的探测精度至ppm级
  • 宽工作压力范围:10毫乇至1乇,无需泵组
  • 快速采样频率24赫兹
  • 小巧,易安装
 
应用:
  • 用于半导体,平板显示器及太阳能等行业PVD,CVD及刻蚀腔体检漏,气体组份比率及等离子体刻蚀终点探测(Endpoint)。
英福康(广州)真空仪器有限公司为您提供Quantus LP100 低压气体光谱分析仪,nullQuantus LP100产地为美国,属于在线自动监测系统,除了Quantus LP100 低压气体光谱分析仪的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多在线自动监测系统,英福康客服电话400-803-0155,售前、售后均可联系。

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