特征概览:
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等离子体频率400M Hz, 光波长范围:190-890 纳米
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易更换等离子体组件,低的运行维护费
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KF25 标准连接口
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良好的探测精度至ppm级
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宽工作压力范围:10毫乇至1乇,无需泵组
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快速采样频率24赫兹
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小巧,易安装
应用:
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用于半导体,平板显示器及太阳能等行业PVD,CVD及刻蚀腔体检漏,气体组份比率及等离子体刻蚀终点探测(Endpoint)。
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