日立高新SU8220观察玻璃基板上的ITO薄膜

日立科学仪器（北京）有限公司

2014/03/31 15:48

众所周知的透明导电膜ITO(Indium Tin Oxide)主要运用于液晶显示屏和太阳能电池等领域。由于显示屏等商品的电气特性和ITO表面的平整度相关，因此通过将ITO的结晶颗粒微小化，使表面平整度得到提高。

上面的两张图是使用Upper探头和Top探头对ITO表面同时进行观察时的效果。在左图的LABSE像(Upper探头)中，可以观察到表面的细微凹凸，而且通道效应也清晰可见。另外，在右图的HABSE像(Top探头)中，凹凸信息有所减弱，相反通道效应被强调有加。

SU8220利用高超的工艺，按照背散射电子的散乱角度分别以LABSE和HABSE接收成像，可使客户根据不同的观察目的进行选择。

本应用使用的仪器为日立高新场发射扫描电子显微镜SU8220，关于此仪器请参考：http://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/C182052.htm

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