微透镜的大视野3D成像

2019/07/09   下载量： 2 次

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应用领域 电子/电气
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参考标准 hitachi MAP 3D

图1(a) 为微透镜的大视野3D图像，通过hitachi MAP 3D 将多张3D 图像拼接而成。图1(b) 为（a）中红框部分的形貌像。通过颜色标尺很容易确定高度信息。图1(c)(d)是提取的图.1(b)中划线区域的结果，可以获得每个透镜（箭头 0-1, 2-3）的水平距离、垂直高度以及顶部和底部的角度。 所以，使用Hitachi Map 3D可以获得大视野3D图像和截面轮廓信息。

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图1(a) 为微透镜的大视野3D图像，通过hitachi MAP 3D 将多张3D 图像拼接而成。图1(b) 为（a）中红框部分的形貌像。通过颜色标尺很容易确定高度信息。图1(c)(d)是提取的图.1(b)中划线区域的结果，可以获得每个透镜（箭头 0-1, 2-3）的水平距离、垂直高度以及顶部和底部的角度。

所以，使用Hitachi Map 3D可以获得大视野3D图像和截面轮廓信息。

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文献贡献者

日立科学仪器（北京）有限公司
白金会员 丨 第12年
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