微电子超纯水应用中总有机碳TOC监测的操作、校准和自动归零的指导

2019/02/21   下载量： 8 次

方案摘要

方案下载
应用领域 半导体
检测样本 集成电路
检测项目
参考标准 /

在微电子超纯水（UPW）应用中，水系统中的总有机碳（TOC）浓度极低，通常为亚ppb级。本文介绍如何优化微电子超纯水应用中的在线总有机碳分析，包括操作步骤指导。苏伊士等厂商生产的分析仪，检测限均在0.02至0.03 ppb之间。典型的超纯水系统的TOC浓度在0.2至0.4 ppb之间，或者说仅比分析仪的检测限高一个数量级。当要测量的TOC浓度非常接近分析仪的检测限时，我们可以优化分析仪的性能以获得理想的测量结果，但此时的校准方法必需有别于测量高TOC时所采用的校准方法。

方案下载
配置单
方案详情

在微电子超纯水（UPW）应用中，水系统中的总有机碳（TOC）浓度极低，通常为亚ppb级。本文介绍如何优化微电子超纯水应用中的在线总有机碳分析，包括操作步骤指导。苏伊士等厂商生产的分析仪，检测限均在0.02至0.03 ppb之间。典型的超纯水系统的TOC浓度在0.2至0.4 ppb之间，或者说仅比分析仪的检测限高一个数量级。当要测量的TOC浓度非常接近分析仪的检测限时，我们可以优化分析仪的性能以获得理想的测量结果，但此时的校准方法必需有别于测量高TOC时所采用的校准方法。

上一篇 Sievers TOC-R3在线型TOC分析仪：挥发性有机碳（VOC）检测器
下一篇 低TOC浓度分析的加压集成在线取样器（PiOS）

文献贡献者

Sievers分析仪（威立雅）
白金会员 丨 第12年
查看全部资料
相关仪器 更多
相关方案
更多
当前位置： Sievers分析仪 方案 微电子超纯水应用中总有机碳TOC监测的操作、校准和自动归零的指导

关注

拨打电话

留言咨询