传统的椭偏仪作为一个强大的薄膜表征技术已经有超过100年的历史。而应用成像椭偏仪可以将被研究对象的尺寸下调到微米范围,此技术可以应用于微结构样品测试。例如,当今信息存储设备(如各种硬盘)的读写头-悬臂梁探针微传感器表面的反应涂层就可以用成像椭偏仪进行表征。而由于传统的椭偏仪光斑直径很大不能用以该类测试。
同时,基于椭偏测试数据成像椭圆偏振技术可以绘制空间分辨率达到一个微米左右的三维图像,而且在这个过程中可以同时保留传统椭圆偏振技术亚纳米膜厚分辨率的优点。波长范围为360-1000纳米的光谱型成像椭圆偏振仪基于成像水平可以用来分析厚度更大的多层薄膜。总之,更多的独立测量数据能够拟合出更多的未知参数—现实中,可以获取更多样品信息。
产品特点
三合一技术:集成像椭圆偏振仪;布鲁斯特角显微镜和成像表面等离子共振谱仪(SPR)于一体
实时椭偏对比显微图像让您对您的样品直接观察—测试时能真正实时地“看”到您做的东西。
椭偏领域内最高的横向分辨率让您研究横向尺寸最小到一个微米的微结构表面。
交互式和易于使用的光学模块
液体表面薄膜成像
使微结构薄膜和非均质薄膜的研究也能利用椭圆偏振技术
双光源系统:激光光源和氙灯光源
更多的波长范围,更多的数据=》更多的样品薄膜性质信息
在您有兴趣的波长范围的薄膜光学性质
在特定波长范围内更高的敏感度
标准配置
PCSA布局(起偏器Polarizer-补偿器Compensator-样品Sample-分析器Analyzer)--消光椭圆偏振技术
(658nm, 20mW)固态激光光源—其他激光光源可选
独立氙灯光源光谱模块(波长范围360-1000nm,46片干涉滤镜)--其他波长范围可选
768x572像素CCD
10倍物镜
专利机动测角仪
手动样品台
EP3测试软件,EP4模拟-拟合软件
应用领域
微结构试样:硅基体悬臂梁探针微传感器表面硫醇/金薄膜分析;增透膜涂层
激光应用增透膜分析
微结构薄膜:混合双层膜的横向相分离(磷脂);光微结构支撑磷脂膜; 微结构聚合物
透明基板:50微米薄的云母基板上Fe3O4薄膜的入射角和波长结合光谱
微芯片:生物芯片;蛋白质反应;动力学反应测试;多通道测量
…其他Nanofilm_EP3SW应用领域…
升级
升级到成像表面等离子共振谱仪分析
原子力显微镜/扫描探针(AFM)联用技术
推荐附件
自动样品台
激光安全柜
固/液附件和表面等离子共振谱仪附件
温度控制附件
液体控制附件
2倍,5倍,20倍,50倍物镜
光斑切割元件
光斑放大/扩束元件
EP3测试附加软件
LB槽,Z向高度控制部件
主动减震系统
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