方案摘要
方案下载应用领域 | 半导体 |
检测样本 | 其他 |
检测项目 | |
参考标准 | 无 |
飞纳台式扫描电镜能谱一体机在 EMS工厂中失效分析的主要应用为: 放大观察样品表面缺陷、对缺陷部位进行点、线、区域、面扫等的元素定性半定量分析等。同时飞纳台式扫描电镜能谱一体机对工作环境无特殊要求,使用简便和六硼化铈灯丝的稳定性,也满足了工厂高效率的要求。
随着手机、电脑等电子产品越来越智能化,更新迭代的速度也是非常之快,也就对内部设计要求越来越高,电子产品越来越精细,从而也加大了 EMS工厂生产中的难度。
这也迫使工厂在做检测时需要用放大倍数更大,景深更好的设备来控制生产中的工艺,必要时还需要分析污染物的元素定性,来追根溯源污染物的来源。传统光镜的放大倍数和景深已经无法满足当前 EMS 失效分析的要求。
飞纳台式扫描电镜能谱一体机最大可以放大 100,000 倍,分辨率可以达到 20 nm 以下,以及具有光学显微镜无法比拟的超高景深以及配套的能谱,能谱可以进行元素的定性半定量。
飞纳台式扫描电镜能谱一体机在 EMS工厂中失效分析的主要应用为: 放大观察样品表面缺陷、对缺陷部位进行点、线、区域、面扫的元素定性半定量分析等。同时飞纳台式扫描电镜能谱一体机对工作环境无特殊要求,使用的简便和六硼化铈灯丝的稳定性,也满足了工厂高效率的要求。
总结,飞纳台式扫描电镜能谱一体机是 EMS工厂中失效分析非常高效率的工具之一。
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