其他null检测 | 台式扫描电镜性能小钢炮：飞纳电镜最新小仓二次电子-复纳科学仪器（上海）有限公司

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秉承诸多飞纳电镜客户的殷切期盼，继大仓之后，飞纳电镜持续扩大投入研发，2016年底全新重磅推出Phenom Pro选配二次电子版本。此版本一出，令无数粉丝欢呼雀跃，纷纷要求寄样试测，笔者也是时至今日方才抽身为读者分享其精髓于一二。下面我们就来一探究竟，到底是什么新功能使这台飞纳台式扫描电镜足以号称台式扫描电镜中的“小钢炮儿”？答曰：天赋异禀，生而卓越！

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秉承诸多飞纳电镜客户的殷切期盼，继大仓之后，飞纳电镜持续扩大投入研发，2016年底全新重磅推出Phenom Pro选配二次电子版本。此版本一出，令无数粉丝欢呼雀跃，纷纷要求寄样试测，笔者也是时至今日方才抽身为读者分享其精髓于一二。下面我们就来一探究竟，到底是什么新功能使这台飞纳台式扫描电镜足以号称台式扫描电镜中的“小钢炮儿”？答曰：天赋异禀，生而卓越！

l 最高150,000倍放大倍数，7nm极致分辨率，细节更突出

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图1 飞纳小仓二次电子

左：金颗粒标样150000× 右：晶体结构60000×

提升至150000×倍的飞纳电镜专业版和能谱版，分辨率又提高了一个等级。尤其是新加入的“Low Emission Current”模式，可使从灯丝的出射电流更小，这样一来，到达样品表面的束流更细小，束斑直径缩小，细节分辨能力进一步提升。不仅如此，在面对易被电子束轰击的样品观测时，还可以起到减轻对样品观测位置电子束伤害的作用。图1中左图测试分辨率优于7nm，右图则展现了在6万倍下的晶体表面细节分辨能力。

l 二次电子探头，呈现更优画质

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图2 飞纳小仓二次电子的二次电子图片

左：碳化鉬颗粒5000× 右：香料基体颗粒5000×

安装在型号电镜上的二次电子探头可号称市面上“成像速度最快的SED”！不仅得益于飞纳电镜的12秒快速抽真空技术，更得益于电镜结构的进一步优化。对于更侧重表面形貌呈现的样品类型，如均质材料的粗糙度检测、细节丰富的断口起伏等应用场合，可以发挥其独特的作用。图2中的两张图分别显示了SED对于不同材料的成像能力，画质非常细腻逼真。

l 低电压下分辨率大幅提升

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图3 飞纳小仓二次电子不同加速电压下的区别（左：5KV 右：15KV）

由于采用了独有的SED真空模式，再加上高亮度的灯丝，所以在低压下呈现的成像效果堪称惊艳！图3中左右两图反映了不同的加速电压模式下，相近放大倍数同一个样品的成像效果，很明显发现，在低压下的左图具有更加鲜亮的对比度，显示效果更靓丽！

l 能谱计数率更高

l 防撞探头设计发挥极致性能，“放得进去，就能观测”，无需调节样品高度

l 操作一如既往地帅气逼人，简单有效，指向精准

常言道“真正的强者是永远比自己的昨天强”，飞纳电镜就真正做到了这一点！在2012年正式进军中国市场之后，凭借高亮度灯丝、自动马达台、二级导航系统、三仓分离技术、低真空等一系列革命性的技术，利用短短两三年内迅速占领台式扫描电镜销量制高点。那时虽然可能在别人眼里已经很好了，然而飞纳电镜并未因此止步，相反不吝投入巨资在新技术的研发上，脚踏实地，根据客户的实际需求陆续推陈出新，CLEM电镜荧光一体机、Phenom XL大仓版、GSR统计系统、13万倍、15万倍…等一系列明星产品不断涌现，勇敢地超越自我，历久弥新。

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文献贡献者

复纳科学仪器（上海）有限公司

白金会员丨第12年

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