null检测 | 深入了解扫描电镜：扫描电镜（SEM）电子透镜的介绍-复纳科学仪器（上海）有限公司

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扫描电镜（SEM）利用电子束对样品进行纳米级分辨率的图像分析。灯丝释放出电子，形成平行的电子束。然后，电子束通过透镜聚焦于样品表面。电子透镜是如何工作的？存在哪几种电子透镜？电子透镜是如何聚焦电子的？在这个博客中，我们将回答这些问题，并对电子透镜的工作原理给出一个大致的解释。

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导向板

电子是带负电的粒子，在高能量的镜筒中穿行。使这些粒子偏转的一种方法是让它们通过由两个板块在电势+ U和- U上产生的电场，如图1a所示。

在电场的影响下，电子的偏转角度取决于电子能量，板块之间的电场以及板块的长度。

电子的速度越快或能量越强，偏转角度就会越小。电场越高，板块越长，偏转角度越大。一个由两种不同电位板组成的装置称为导向板。

为了得到一个静电透镜，可以考虑反射导向板，这样，在光轴上运动的电子可以聚焦在同一点上，如图1b所示。

电场只存在于电子开始进入和结束电子行程的过程，我们如何能得到像图1b所示的透镜效应?这个问题的答案在于，只要有透镜效应，电子束的能量就会产生改变，这意味着电子要么加速要么减速。这可以通过在电子束周围的不同电势来完成。

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图1：（a）电子束导向板和（b）静电透镜。

文献贡献者

复纳科学仪器（上海）有限公司

白金会员丨第11年

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