方案摘要
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参考标准 | 扫描电镜,台式电镜,台式扫描电镜,桌面扫描电镜 |
背散射电子(Backscattered electron -BSE)图像会体现有关样品材料衬度的信息。利用背散射电子探测器(BSD)获取样品图像的质量会受到很多因素的影响,如样品的电导率,形貌,样品成分,BSD探测器类型以及电子器件等。
背散射电子(Backscattered electron -BSE)图像会体现有关样品材料衬度的信息。利用背散射电子探测器(BSD)获取样品图像的质量会受到很多因素的影响,如样品的电导率,形貌,样品成分,BSD探测器类型以及电子器件等。
在本篇博客中,将使用同一套成像系统、完全相同的探测器对同一个样品进行控制变量实验,分析影响背散射电子图像质量的因素,这些因素包括采样帧数、束流强度,以及工作距离、样品仓真空度等。
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