照明产品null检测 | 熟悉电子在电镜中的的运动，轻松理解扫描电镜的工作原理-复纳科学仪器（上海）有限公司

方案摘要

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应用领域	电子/电气
检测样本	照明产品
检测项目
参考标准	扫描电镜，台式电镜，台式扫描电镜，桌面扫描电镜，场发射电镜

Phenom 飞纳采用逸出功更低的单晶 CeB6 灯丝，可以在低温下使电子逸出，有效地降低色差，提升灯丝亮度，延长灯丝使用寿命，并通过电场以及磁场的控制实现电子的加速以及偏转，提供优质的 BSD 和 SED 图像。

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配置单

方案详情

在 SEM 中，灯丝作为电子的发射源十分关键，传统的 W 灯丝以及飞纳电镜采用的 CeB₆ 灯丝都是通过热激发方式激发电子。

热激发是通过赋予电子更高的能量加热，使得电子具有超出逸出功的能力，逸出功越高，需要的工作温度也就越高。

W 灯丝的逸出功为 4.5 eV，CeB₆ 灯丝的逸出功为 2.6 eV。所以，W 灯丝的工作温度在 2800K，而 CeB₆ 只需要在 1800K，工作温度的不同同样会影响色差，W 灯丝色差为 2.5 eV，CeB₆ 色差仅为 1 eV。

灯丝电子发射原理决定了 CeB₆ 灯丝可以在更低的温度下产生比 W 灯丝更高的电流，意味着更高的亮度，更低的色差和更长的寿命。

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文献贡献者

复纳科学仪器（上海）有限公司

白金会员丨第11年

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