其他null检测 | 如何呈现扫描电镜样品表面的“真实形貌”-复纳科学仪器（上海）有限公司

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参考标准	扫描电镜，台式电镜，台式扫描电镜，桌面扫描电镜，场发射电镜

扫描电子显微镜（SEM）是依靠电子束与样品相互作用产生俄歇电子、特征 X 射线和连续谱 X 射线、背散射电子等信号，对样品进行分析研究。扫描电镜在表征样品时，受诸多参数的影响，不同类型样品应选用合适的参数，才能呈现出样品更真实的表面信息。如在不同的加速电压下，电子束与样品作用所获得的信号会有很大的差别。从理论上说，入射电子在样品中的散射轨迹可用 Monte Carlo 的方法模拟（如图 1 所示），并且推导得到入射电子最大穿透深度 Zmax。

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扫描电子显微镜（SEM）是依靠电子束与样品相互作用产生俄歇电子、特征X 射线和连续谱X 射线、背散射电子等信号，对样品进行分析研究。

扫描电镜在表征样品时，受诸多参数的影响，不同类型样品应选用合适的参数，才能呈现出样品更真实的表面信息。如在不同的加速电压下，电子束与样品作用所获得的信号会有很大的差别。从理论上说，入射电子在样品中的散射轨迹可用 Monte Carlo 的方法模拟（如图1 所示），并且推导得到入射电子最大穿透深度 Z_max。

Z_max=0.0019(A / Z)^1.63E₀^1.71/ρ

扫描电镜.jpg

图1 电子在钛（Ti）金属中的运动轨迹

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文献贡献者

复纳科学仪器（上海）有限公司

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