方案摘要
方案下载应用领域 | 建材/家具 |
检测样本 | 建筑陶瓷 |
检测项目 | |
参考标准 | 扫描电镜,台式电镜,台式扫描电镜,桌面扫描电镜,场发射电镜 |
通常来说,操作人员更愿意使用更高的加速电压去成像,当加速电压较大时,信噪比更好,分辨率更高,更容易得到“清晰”的图像。但低加速电压却是当今扫描电镜的发展趋势,这是什么原因呢?今天,这篇文章将围绕“低加速电压成像”展开讨论。 电子束与样品相互作用将会激发出多种电子信号,包括背散射电子(BSE)、二次电子(SE)等。二次电子(SE)主要表征样品的表面形貌信息,激发深度一般低于 10nm,主要表征样品的表面形貌信息。
扫描电镜的加速电压与束流强度对成像有着决定性的影响。
通常来说,操作人员更愿意使用更高的加速电压去成像,当加速电压较大时,信噪比更好,分辨率更高,更容易得到“清晰”的图像。但低加速电压却是当今扫描电镜的发展趋势,这是什么原因呢?今天,这篇文章将围绕“低加速电压成像”展开讨论。
电子束与样品相互作用将会激发出多种电子信号,包括背散射电子(BSE)、二次电子(SE)等。二次电子(SE)主要表征样品的表面形貌信息,激发深度一般低于 10nm,主要表征样品的表面形貌信息。
当使用较高加速电压去观测样品,二次电子来自样品表面 5~10nm 范围,最表层的形貌被削弱,甚至掩盖;而用低加速电压观测样品时,由于入射电子束与样品的相互作用小,信号更多来源于材料的表面,加速电压越低,观测的形貌效果越接近表层,且低加速电压对样品的损伤也较小。
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