方案摘要
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检测样本 | 其他 |
检测项目 | |
参考标准 | 扫描电镜,台式电镜,台式扫描电镜,桌面扫描电镜,场发射电镜 |
相信大家都知道扫描电镜的背散射电子(BSE),背散射电子是被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子。其中包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。 大家可以这样想象:当我们用乒乓球(入射电子)砸向石头(原子核)时,乒乓球便会被反弹回来,反弹回来的这些乒乓球便是背散射电子。因此,当原子序数越大,原子核所带正电荷就越多,能够反弹回来的背散射电子便会越多,在扫描电镜成像上的体现就是信号量较充足。
元素与扫描电镜(SEM)及能谱仪(EDS)存在什么联系呢?
相信大家都知道扫描电镜的背散射电子(BSE),背散射电子是被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子。其中包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。
大家可以这样想象:当我们用乒乓球(入射电子)砸向石头(原子核)时,乒乓球便会被反弹回来,反弹回来的这些乒乓球便是背散射电子。因此,当原子序数越大,原子核所带正电荷就越多,能够反弹回来的背散射电子便会越多,在扫描电镜成像上的体现就是信号量较充足。
如上图所示,我们不难发现其中有黑色的地方(C元素)也有白色的地方(Sn元素),这里成像的衬度便反应了原子序数的差异。
而通过能谱检测特征 X 射线则可以知道原子是什么,有多少。当入射电子束与材料相互作用时,原子内层电子被打跑,外层电子向内跃迁填补空位,多余的能量以 X 射线形式释放。由于原子序数的不同,核外电子排布方式也是不同,内外层电子的能量差也就不同,因此元素释放的 X 射线能量不同,这些具有原子信息的 X 射线称为特征 X 射线。
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