方案摘要
方案下载应用领域 | 其他 |
检测样本 | 其他 |
检测项目 | |
参考标准 | 扫描电镜,台式电镜,台式扫描电镜,桌面扫描电镜,加速电压 |
扫描电镜激发样品的物理信号(二次电子、背散射电子、特征 X 射线等)主要取决于入射电子束的加速电压,当高能量的电子束入射到同一样品时,入射电子束与试样相互作用区范围的大小随加速电压的升高而增大。
扫描电镜激发样品的物理信号(二次电子、背散射电子、特征 X 射线等)主要取决于入射电子束的加速电压,当高能量的电子束入射到同一样品时,入射电子束与试样相互作用区范围的大小随加速电压的升高而增大;在同一加速电压下,相互作用区随样品的原子系数增大而减小。电子束的激发深度与加速电压和样品原子系数的关系如图 1 所示。
图1 电子束激发深度与加速电压和原子系数关系示意图
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