加速电压效应对扫描电镜成像质量的影响

2020/05/12   下载量： 0 次

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参考标准 扫描电镜，台式电镜，台式扫描电镜，桌面扫描电镜，加速电压

扫描电镜激发样品的物理信号（二次电子、背散射电子、特征 X 射线等）主要取决于入射电子束的加速电压，当高能量的电子束入射到同一样品时，入射电子束与试样相互作用区范围的大小随加速电压的升高而增大。

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扫描电镜激发样品的物理信号（二次电子、背散射电子、特征 X 射线等）主要取决于入射电子束的加速电压，当高能量的电子束入射到同一样品时，入射电子束与试样相互作用区范围的大小随加速电压的升高而增大；在同一加速电压下，相互作用区随样品的原子系数增大而减小。电子束的激发深度与加速电压和样品原子系数的关系如图 1 所示。


1.png

图1 电子束激发深度与加速电压和原子系数关系示意图

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复纳科学仪器（上海）有限公司
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