埃地沃兹Edwards磁悬浮涡轮分子泵STPSTP-iX455_价格-埃地沃兹贸易（上海）有限公司

产品详情

STP-iX455 涡轮分子泵具有创新性磁力轴承和电机驱动系统，与上一代涡轮泵相比将振动降低了 50%。采用集成的控制器，不需要使用传统的安装于机架上的控制器及互连电缆，不需要水冷却。
此泵的氮气抽速为 450 ls-1。STP-iX455 极为适合电子显微镜、度量学、光刻和其他对振动敏感的应用。

功能和优势

紧凑型设计，包括完全集成的控制器
创新性自传感轴承系统
数字化 5 轴控制
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程
自动平衡系统 (ABS) 标准
自动减振 (AVR) 标准
列于 UL 中，具有 CE 标记，符合 SEMI® S2

技术数据

入口法兰	ISO100K
抽速
N2	300 ls-1
H2	300 ls-1
压缩比
N2	>108
H2	>1 x 104
极限压力	6.5 x 10-6 Pa
最大工作压力	1.3 x 10-1 Pa
允许的前级压力	67 Pa
额定速度	55000 rpm
启动时间	<6 分钟
固定位置	任何方向
冷却方法	自然冷却（加热和气体泵送时进行水冷却或空气冷却）
润滑油	不需要
前级泵	240 lmin-1
泄露磁通量
轴向方向	<100 m/Gauss
径向方向	<100 m/Gauss
环境温度范围	0 至 40 °C
存储环境温度范围	-25 至 55 °C
重量	15 kg

应用

金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线泵送端点站
MBE
扩散
光致抗蚀剂脱模
晶体/晶膜生长
晶片检查
负载锁真空腔
科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜
高能物理：射束线、加速器
放射线应用：融合系统、回旋

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信息已认证

企业名称: 埃地沃兹贸易(上海)有限公司
企业类型: 有限责任公司(外国法人独资)
信用代码: 913101156073988010
成立日期: 1998年11月06日
注册资本: 美元1060.0000万
经营范围: 区内以工业气体、真空设备和其他相关设备为主的仓储(除危险品)、分拨业务;国际贸易、转口贸易,区内企业间的贸易及贸易代理;区内商业性简单加工及贸易咨询服务、技术咨询;润滑剂、硫化橡胶(硬质橡胶除外)的其他商品、钢铁制品、机械设备及其零部件、电气设备、测量控制仪器及其零部件的批发、网上零售、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其他相关配套业务;上述产品的测试、售后服务及维修业务(不涉及国营贸易管理商品,涉及配额、许可证管理商品的、按国家有关规定办理申请),机械设备的经营性租赁。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动]

型号：	STP-iX455
产地：	英国
品牌：	埃地沃兹
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