方案摘要
方案下载应用领域 | 半导体 |
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在利用透射电镜观察氧化铝陶瓷的晶粒形貌时,陶瓷的脆性和硬度给制样带来了一定的困难,而离子减薄对比机械减薄、超薄切片等方法可以有效避免样品破碎,因此本文采用离子减薄仪对氧化铝陶瓷进行透射电镜制样。
陶瓷材料是指用天然或合成化合物经过成形和高温烧结制成的一类无机非金属材料。氧化铝陶瓷主要组成物为Al₂O₃,一般含量大于45%。氧化铝陶瓷具有各种优良的性能。用途广泛,可用作坩埚、发动机火花塞、高温耐火材料、热电偶套管、密封环等,也可作刀具和模具。但在利用透射电镜观察氧化铝陶瓷的晶粒形貌时,陶瓷的脆性和硬度给制样带来了一定的困难,而离子减薄对比机械减薄、超薄切片等方法可以有效避免样品破碎,因此本文采用离子减薄仪对氧化铝陶瓷进行透射电镜制样。
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