optiXfab 1英寸13.5nm 极紫外多层膜反射镜
优选

optiXfab 1英寸13.5nm 极紫外多层膜反射镜

参考价：¥1万 - 5万
型号： 无
产地： 德国
品牌： optiXfab
评分：
核心参数
创新点
本产品的实测反射率高达70%，相较于市场上的同类的产品反射率会高3-5个百分点。同时对于每片镜子我们都可以提供实测的反射率曲线。
北京众星联恒科技有限公司
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产品详情

  得益于北京众星联恒科技有限公司在中国X射线、极紫外的专注，近10年的积累，对于极紫外光学技术及中国有较为深入的了解。而德国optiXfab公司于2012年开始商业化Fraunhofer研究所的Mo/Si多层膜专利技术，至今已经给客户生产了近2万片镜片，中大多数都是半导体工业的客户，如LLP光源的收集镜及Schwarzschild物镜等。经过双方充分的讨论及密切，我们共同决定将在半导体工业应用成熟的镀膜技术推广基于HHG，激光驱动等离子小型极紫外光源的科研应用，针对中国市场联合推出的1英寸的高性能13.5nm多层膜镜片，并在中国办公室备有库存，以实现镜片的快速交付。


EUV多层膜平面反射镜 AOI = 5 °EUV多层膜平面反射镜 AOI = 45 °EUV多层膜球面反射镜 AOI = 5 °
反射率
R＞65% @13.5nmR＞67% @13.5nmR＞65% @13.5nm
镀膜材料Mo/SiMo/SiMo/Si
AOI5°
45°5°
Bandwidth (FWHM)appr. 500 pmappr. 950 pmappr. 500 pm
基底
fused silicafused silicafused silica
尺寸25.4 ±0.1 mm25.4 ±0.1 mm25.4 ±0.1 mm
厚度6.35 ±0.1 mm6.35 ±0.1 mm6.35 ±0.1 mm
面形精度
λ/20 @ 632.8 nmλ/20 @ 632.8 nmλ/20 @ 632.8 nm
表面粗糙度σ< 0.2 nm rmsσ< 0.2 nm rmsσ< 0.2 nm rms
曲率半径
--500 mm (± 1 %)


实测反射率

MoSi6.jpg

MoSi7.jpg

主要应用：

  • 极紫外相干衍射成像

  • 极紫外显微成像

  • 极紫外光电子能谱

  • 极紫外掩膜版检测


北京众星联恒科技有限公司为您提供optiXfab 1英寸13.5nm 极紫外多层膜反射镜无，optiXfab无产地为德国，属于光学仪器组件，除了optiXfab 1英寸13.5nm 极紫外多层膜反射镜的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多光学仪器组件,北京众星联恒客服电话400-860-5168转2943，售前、售后均可联系。

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