激光驱动高亮EUV光源
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激光驱动高亮EUV光源

参考价：面议
型号： TEUS-S
产地： 荷兰
品牌： ISTEQ
评分：
核心参数
北京众星联恒科技有限公司
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产品详情

来自荷兰 ISTEQ 的 TEUS，LPP EUV 光源基于快速旋转液态金属靶，这种新型 LPP 光源结合了传统的碎片抑制技术，是清洁极紫外光源的绝佳解决方案。

型号

EUV收集角（sr）

激光平均功率（W）

脉宽（ns）

重频（kHz）

等离子体尺寸（μm）

亮度（W/mm2sr）

EUV功率（mW）

TEUS-S100

0.05

100

1.5

25

60

110

5

TEUS-S200

200

50

220

10

TEUS-S400

400

100

450

20

特征优势



  • 高速旋转液态靶，提供了：

    — 避免液滴类碎片污染
    — 激光-靶材作用面不受干扰，输出参数（亮度/通量/空间位置）高效稳定
    — 无需同步的连续靶材

  • 多种碎屑抑制技术共同作用，提高收集器镜片预期寿命

  • 连续工作时间长，维护间隔长耗时短，自动化程度高的交钥匙工程

典型应用

  • 掩膜及表面检测

  • 图形化掩膜检测

  • 掩膜空间像检测

  • 材料科学

  • 晶圆检测

  • 极紫外扫描光刻工艺链中的极紫外光学器件检测


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北京众星联恒科技有限公司为您提供ISTEQ激光驱动高亮EUV光源TEUS-S，ISTEQTEUS-S产地为荷兰，属于光源/氙灯光源/汞灯光源，除了激光驱动高亮EUV光源的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多光源/氙灯光源/汞灯光源,北京众星联恒客服电话400-860-5168转2943，售前、售后均可联系。
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