常规X射线成像很大程度上依靠便捷的工具来评估各检测系统的性能,也就是分辨率测试卡。Yxlon International和Microworks现在已经签署了一项许可协议,Microworks将把与Yxlon International共同开发的分辨率测试卡商业化,并面向全球市场。该分辨率测试卡使用了Microworks在高纵横比精细结构制备上积累多年的X射线光刻经验,提供了17个测试区域,布局如下。可以检测0.3µm到5um的分辨率,并采用了厚度超过3µm的金作为吸收材料,以获得更好的X射线衬度对比。
布局
0.3 µm line pattern
分辨率测试卡参数
Outer dimension | 8 mm x 8 mm chip size |
Materials | Substrate: 200 μm thick silicon, Absorber: 3 μm high gold |
L/S widths | Tolerance: +/-10% |
Pattern period [μm] | 5.0, 4.0, 3.2, 2.5, 2.0, 1.6, 1.3, 1.0, 0.9, 0.8, 0.7, 0.6, 0.5, 0.45, 0.4, 0.35, 0.3 (17 steps) |
About us
北京众星联恒科技有限公司作为Microworks公司中国区授权总代理商,为中国客户提供Microworks所有产品的售前咨询,销售及售后服务。我司始终致力于为广大科研用户提供专业的x射线产品及解决方案。
衍射前沿 新材料纪元|第十五届全国X射线衍射与新材料学术大会暨ICDD研讨会纵览
MiniPIX多功能探测器用于提升基于罗兰圆几何的X射线吸收精细结构谱仪性能
丹佛集结令·X射线科学前沿研讨会|DENVER X-RAY CONFERENCE
变革中成长,探索中前行
相关产品
Greateyes 极紫外、软X射线内真空CCD相机 LOTTE-s系列
Greateyes 极紫外、软X射线内真空CCD相机 LOTTE-i系列
optiXfab 13.5nm 极紫外施瓦茨希尔德(Schwarzschild)
optiXfab 1英寸13.5nm 极紫外多层膜反射镜
optiXfab13.5nm极紫外光源多层膜收集镜
Advacam Timepix3直接探测电子相机
Microworks X射线相衬、暗场成像套件
NTT-AT X射线分辨率测试卡
XOS紧凑型多毛细管微焦点X射线光源Mini-Beam
BrillianSe™ 高分辨率非晶硒X射线探测器
三维扫描透射X射线显微镜 科研级 桌面式X射线相衬微米CT-高能/高灵敏/高分辨
软X射线直读型桌面吸收精细结构谱仪
直读型硬X射线吸收精细结构谱仪
Advacam 光子计数X射线探测器 WidePIX 2(1)x10-MPX3
GDMS增值服务
关注
拨打电话
留言咨询