净化工程文章-洁净室空调洁净化方案(二)

2014/08/14   下载量: 3

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洁净隧道的特点如下: (1)在隧道内造成不同的洁净度,从而充分利用了不同洁净气流的特性,最大限度地满足工艺要求。一般情况下,隧道内的两侧是高洁净度的层流工作区,中间是乱流的操作活动区。工艺区连成一条线,使用方便,人员的活动也不会引起交叉污染。

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