列真LAZIN碳化硅SiC晶圆缺陷检测系统LODASLODASTM

产品详情

列真公司在半导体光罩检测设备上积累了独自技术，主产品 LODAS ™系列具有日本专利权的激光检测技术，可同时探测收集激光的反射光，透射光以及共聚焦，可一次性检查第三代半导体 SIC 等材料表面，背面和内部的缺陷，可探测最小缺陷为100 纳米，主要用于半导体光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、内部、背面的缺陷检查。将此项技术运用于第三代半导体材料的缺陷检查，将提升量产成品率将具有重要意义。

检测原理图.png

应用: SiC、GaN

半导体光罩（石英玻璃与涂层）、

石英Wafer Si Wafer

HDD Disk LT Wafer

蓝宝石衬底、

EUV光罩、

光罩防尘膜

可全面检测表面、内部、背面的缺陷

外延缺陷

胡萝卜型缺陷

彗星缺陷

三角缺陷

边缘缺陷

衬底缺陷

微管缺陷

层错缺陷

六方空洞缺陷

缺陷种类.png

北京欧屹科技有限公司为您提供列真LAZIN碳化硅SiC晶圆缺陷检测系统LODASLODASTM，列真LODASTM产地为日本，属于进口晶圆缺陷光学检测设备，除了LAZIN碳化硅SiC晶圆缺陷检测系统LODAS的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多晶圆缺陷光学检测设备,欧屹科技客服电话，售前、售后均可联系。

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信息已认证

企业名称: 北京欧屹科技有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码: 91110114697652403K
成立日期: 2010年01月22日
注册资本: 800万元
经营范围: 技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让;计算机技术培训;基础软件服务、应用软件服务(不含医疗软件);计算机系统服务;数据处理(仅限PUE值在1.5以下);零售计算机、软件及其辅助设备、电子产品、通讯设备、五金交电、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、专用设备;销售文化用品、体育用品、日用品;经济贸易咨询。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动.)

型号：	LODASTM
产地：	日本
品牌：	列真
评分：
应用领域：	共1个查看经典案例