(1)仪器系统必须稳定可靠,包括信号传输系统、数据处理、抗干扰等;
(2)系统配备循环分散搅拌装置;
(3)仪器供应商应具备提供技术指导的能力;
(4)仪器具有标准化操作规程功能;
(5)重视仪器和操作之外的因素,包括样品因素和环境因素等。
为什么检测CMP研磨液的Large Particle Count(LPC)如此重要?
研磨液中分散剂的添加对铜阻挡层平坦化后划痕的影响
Particle Genius——奥法美嘉新售后服务号:科技护航,服务升级
AccuSizer粒度仪数据说明
相关产品
关注
拨打电话
留言咨询