真空腔体水气解吸附组件
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参考价:面议
型号: miniZ
产地: 美国
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科睿设备有限公司
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产品详情

仪器简介:

美国RBD公司的真空室水蒸气去除产品包括高功率,高温红外辐射烘烤发射器和低功耗,低温UVC发射器。

使用紫外光解吸水蒸气是具有氟橡胶 O 形圈密封的腔室的理想选择,这些腔室在低 10-6 到低 10-7 Torr 的范围内泵送。优点包括更快的抽空时间和更低的极限真空。UVC也用于分解碳氢化合物。

我们的 VB 系列红外水解吸系统在真空室中提供更快的烘烤时间,可以承受高功率红外辐射的热量。

VB系列

VB系列真空烘烤套件专为可以承受短波红外高温的真空室而设计。高功率红外辐射从内向外加热真空室,以有效地从真空室中解吸水蒸气。

BC-3烘烤控制器可完全控制水真空室烘烤过程的解吸。热源的功率是可变的,热电偶反馈用于调节真空室的温度。

IRB-600

IRB-600红外发射器组件为真空室内部提供600瓦的短波红外加热,以有效去除真空室壁上的水蒸气。

UVB-100

UVB-100使用紫外线辐射在没有热量的情况下解吸水蒸气。

法兰安装选项
UVB-100 标配 2.75 CF 或 NW40 (K150) KF 安装座。可根据要求提供其他法兰安装。




miniZ是解决紧凑型真空室中的水蒸气问题的理想选择,例如球形腔室、迷你原子层沉积室、压力传感器和负载锁。

远程控制选项

miniZ 电源使用简单 - 只需打开它!如果您想通过过程控制器或设定点操作miniZ,则可以使用远程ON/OFF选项。

miniZ是RBD Instruments水蒸气解吸/氧化烃去除系统系列的最新成员。该水蒸气解吸系统包括一个高功率UVC发射器,该发射器安装在标准的1.5“内径真空室管内,以及一个直接安装在2.75”CF法兰上的紧凑型电源。

miniZ 是解决紧凑型真空室中的水蒸气问题的理想选择,例如球形腔室、原子层沉积室、压力传感器和负载锁。

miniZ 电源使用简单 - 只需在开始泵送时将其打开即可!如果您想通过过程控制器或设定点操作miniZ,则可以使用远程ON/OFF选项。提供 2.75“和 4.5” CF 法兰尺寸。


 


科睿设备有限公司为您提供真空腔体水气解吸附组件miniZ,nullminiZ产地为美国,属于其他,除了真空腔体水气解吸附组件的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供光刻机,紫外曝光机(LED光源)、光刻机,紫外曝光机(双面,半自动)、光刻机,紫外曝光机,Mask Aligner,科睿设备有限公司客服电话400-860-5168转3281,售前、售后均可联系。

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