微区扫描光电子能谱仪

2014-06-24 11:20  下载量:7

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基于PHI相当成功的扫描X射线微探针技术,PHI-XPS系统可提供高性能的微区光谱、化学成分图、二次电子像,最新的扫面聚焦XPS可将X束斑最小聚焦至7.5μm。PHI专利的双束中和法采用低能离子束与低能电子束,对绝缘样品可进行有效分析。集成的悬浮离子枪让无机薄膜结构的深度分析恰到好处。全自动五轴样品台,简化了多样品的自动分析,可进行常中心旋转得到深度剖析需要的清晰界面。

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