PHI-Trift V Nano TOF-SIMS应用展示3

2014-06-24 14:57  下载量:27

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飞行时间二次离子质谱仪是以密度小于10^12atoms/cm2的脉冲离子作用于固体表面,通过测量被激发的原子或分子的飞行时间来确定二次离子的质量,并检测各种有机材料及半导体中的微量杂质,可用于各种材料的高灵敏度表面分析。

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