AES深度剖析概述

2014-12-05 11:34  下载量:20

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俄歇电子能谱(Auger electron spectroscopy,简称AES)除了可获得样品表面的成分外,还可以透过深度剖析得到元素在垂直表面方向往下的分布信息,能够提供不同微区中化学组成在深度分布中的对比变化。作为俄歇电子能谱一个最重要的分析功能,深度剖析使得俄歇电子能谱成为薄膜材料、半导体器件及各种工程实际问题研究不可缺少的分析工具之一。

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