极紫外平面反射镜

极紫外平面反射镜

参考价:面议
供货周期: 两周
品牌: 爱特蒙特
货号: 38-759
核心参数
江阴韵翔光电技术有限公司
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极紫外平面反射镜


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1.zui大可实现 13.5nm 反射

2.专为极紫外线光束转向和谐波分离而设计

5°和45°自动光学检验的可用版本

极紫外平面反射镜是多层反射镜,在其设计波长和入射角下实现zui大反射率。这些反射镜的特点是反射涂层沉积在一个超抛光的单晶硅基板上,表面粗糙度小于3? RMS. 45°自动光学检验反射镜可用于转向s偏振光束,而 5° 自动光学检验反射镜可用于非偏振光束. 极紫外线反射镜的应用包括相干衍射成像 (CDI) 和材料科学研究。极紫外平面反射镜也可用作高次谐波 (HHG) 光束的谐波选择器.

注意:
附带每个反射镜运行样本的测试数据.

通用规格

基底:

Single Crystal Silicon

涂层:

Mo/Si Multilayer

Top Layer: Silicon

表面粗糙度(埃):

<3 RMS

厚度容差 (mm):

0.508

直径 (mm):

25.40 ±0.25

镀膜类型:

Metal/Semiconductor

厚度 (mm):

6.35

表面平整度 (P-V):

λ/10 @ 632.8nm


订购信息:

涂层规格

AOI (°)

产品号

R >60% @ 13.5nm

5

#38-759

R >65% @ 13.5nm

45

#38-760


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