658nm无线式光电自准直仪分析

筱晓（上海）光子技术有限公司

2022/12/14 09:32
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，是一种利用光的自准直原理将角度测量转换为线性测量的一种计量仪器。它广泛用于小角度测量、平板的平面度测量、导轨的平直度与平行度测量等方面。它是一种利用光的自准直原理测量平直度的仪器。当狭缝光源位于物镜的焦平面上时，光线将通过物镜折射为平行光束，再经由一垂直于光轴的平面反射镜将光束循原路反射回来。若是平面反射镜有偏斜，则放射光束聚焦后成的像，将偏离狭缝光源的原始位置。通过目镜读数，可测出反射镜对光轴垂直面的微小倾角。其内部结构如下图所示：


 自准直仪内部结构图 








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它可以测量10m以内的镜面平面度，量程为±3.5 mrad，准确度不大于±5 urad。打开自准直仪和配套的平板热点，启动自准直仪APP后，等待自准直仪自动连接。当界面上显示connected后，用一片金属反射镜将准直输出光原路返回，便可以实时监测反射镜的垂直度。




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光电自准直仪


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