NSC-1000 磁控溅射系统
NSC-1000 磁控溅射系统

NSC-1000 磁控溅射系统

参考价:¥30万 - 50万
型号: NSC-1000
产地: 美国
品牌: 那诺-马斯特
评分:
核心参数
那诺-马斯特中国有限公司
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产品详情

磁控溅射技术

NSC-1000磁控溅射系统概述:带有水冷或者加热(最高可加热到700度)功能,最大到6"旋转平台,最大可支持到2个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。

NSC-1000带有10”派热克钟罩腔体,22”的磁控管,DC直流电源用于溅射金属,并带有膜厚监测仪(选配)。由于NSC-1000的空间有限,我们不能在NSC-1000系统上提供更多的电源和磁控管。我们可以提供我们的NSC-1000系统,用于SEM应用,也可以用于溅射金属到最大6”的晶圆片。

NSC-1000磁控溅射系统产品特点:

  • 不锈钢,铝质腔体或钟罩式耐热玻璃腔

  • 70l/s的涡轮分子泵,串接机械泵或干泵

  • 1KW DC直流电源

  • 晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率

  • 带观察视窗的腔门易于上下载片

  • 基于LabView软件的PC计算机控制

  • 带密码保护功能的多级访问控制

  • 完全的安全联锁功能

NSC-1000磁控溅射系统选配项:

  • Thickness Monitor   膜厚监测

NSC-1000磁控溅射系统应用:

  • SEM应用

  • 溅射金属,最大到6"的晶圆片


那诺-马斯特中国有限公司为您提供那诺-马斯特NSC-1000 磁控溅射系统,那诺-马斯特NSC-1000产地为美国,属于进口物理气相沉积设备,除了NSC-1000 磁控溅射系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供磁控溅射系统NSC-4000 (M)、NSC-3000 (A) 全自动磁控溅射系统、NSC-3000 (M) 磁控溅射系统,那诺-马斯特中国客服电话400-860-5168转3569,售前、售后均可联系。

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