NSC-3000 (M) 磁控溅射系统
NSC-3000 (M) 磁控溅射系统

NSC-3000 (M) 磁控溅射系统

参考价：¥80万 - 100万
型号： NSC-3000 (M)
产地： 美国
品牌： 那诺-马斯特
评分：
核心参数
那诺-马斯特中国有限公司
铜牌会员 丨 10年
关注展位 全部仪器
展位推荐 更多
产品详情

磁控溅射技术

NSC-3000（M）磁控溅射系统概述：带有水冷或者加热(最高可加热到700度)功能，最大到6"旋转平台，最大可支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，极限真空可达10-7 Torr，15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离，可以获得想要的均匀度和沉积速度。

NSC-3000带有12”派热克钟罩腔体，2个2”的磁控管，DC直流和RF射频电源。 在选配方面，我们提供不锈钢腔体，260 l/s涡轮分子泵，额外的磁控管和衬底加热功能。

NSC-3000（M）磁控溅射系统产品特点：

  • 不锈钢，铝质腔体或钟罩式耐热玻璃

  • 70，250或500 l/s的涡轮分子泵，串接机械泵或干泵

  • 13.56MHz，300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源

  • 晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率

  • 带观察视窗的腔门易于上下载片

  • 基于LabView软件的PC计算机控制

  • 带密码保护功能的多级访问控制

  • 完全的安全联锁功能

NSC-3000（M）磁控溅射系统选配项：

  • 不锈钢腔体

  • RF、DC溅射

  • RF或DC偏压（1000V）

  • 样品台可加热到700°C

  • 膜厚监测仪

  • 基片的RF射频等离子清洗

  • 预真空锁以及自动晶圆片上/下载片

NSC-3000（M）磁控溅射系统应用：

  • 晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆

  • 光学以及ITO涂覆

  • 带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆

  • 带RF射频等离子放电的反应溅射



那诺-马斯特中国有限公司为您提供那诺-马斯特NSC-3000 (M) 磁控溅射系统，那诺-马斯特NSC-3000 (M)产地为美国，属于进口物理气相沉积设备，除了NSC-3000 (M) 磁控溅射系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供磁控溅射系统NSC-4000 (M)、NSC-3000 (A) 全自动磁控溅射系统、NSC-4000 (A) 全自动磁控溅射系统,那诺-马斯特中国客服电话400-860-5168转3569，售前、售后均可联系。

那诺-马斯特物理气相沉积NSC-3000 (M)的工作原理介绍物理气相沉积NSC-3000 (M)的使用方法?那诺-马斯特NSC-3000 (M)多少钱一台?物理气相沉积NSC-3000 (M)可以检测什么？物理气相沉积NSC-3000 (M)使用的注意事项？那诺-马斯特NSC-3000 (M)的说明书有吗？那诺-马斯特物理气相沉积NSC-3000 (M)的操作规程有吗？那诺-马斯特物理气相沉积NSC-3000 (M)报价含票含运吗？那诺-马斯特NSC-3000 (M)有现货吗？
相关仪器 更多

相关产品

那诺-马斯特中国有限公司为您提供那诺-马斯特NSC-3000 (M) 磁控溅射系统，那诺-马斯特NSC-3000 (M)产地为美国，属于进口物理气相沉积设备，除了NSC-3000 (M) 磁控溅射系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供磁控溅射系统NSC-4000 (M)、NSC-3000 (A) 全自动磁控溅射系统、NSC-4000 (A) 全自动磁控溅射系统,那诺-马斯特中国客服电话400-860-5168转3569，售前、售后均可联系。
Business information
工商信息 信息已认证
当前位置： 那诺-马斯特中国 仪器 NSC-3000 (M) 磁控溅射系统

关注

拨打电话

留言咨询