型号: | CS100 |
产地: | 北京 |
品牌: | |
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用途
质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。
特点
1、可根据用户需求选择纯模拟或纯数字;
2、高精度、快响应;
3、具有成本优势。
核心技术指标
1、数字模拟信号可选;
2、精度:±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(<35% F.S.);
3、响应时间: ≤1sec;
4、零点漂移:<0.6%F.S/年;
5、流量规格:10sccm-50slm;
6、输入信号: RS232/485 or 0-5V。
应用领域
用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
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