英斯特科温控晶圆夹盘 TC102S/TC104S 美国InstecTC102S, TC104S

温控晶圆夹盘 TC102S/TC104S 美国Instec

参考价：面议

型号：

TC102S, TC104S

产地：

美国

品牌：

英斯特科

评分：

应用领域：

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产品详情

Instec
来自液晶先驱院校美国科罗拉多大学的精密温控装置与液晶检测设备

功能特点

可编程精密控温。可独立控制，也可从上位机软件控制

帕尔贴原理温控，使用时无需耗材

适用最大100 mm尺寸晶圆

超低的盘面温度梯度

独立的上盘面真空吸气槽，用于吸附固定多种尺寸晶圆

尺寸超薄，可集成进探针台

可快速装载晶圆的凸起结构台面

软件可拓展性强，可提供LabView等语言的SDK

#升级项# 性能可升级，详见配置列表

可做改动或定制，详询上海恒商

技术参数

通用参数	温度分辨率	0.001℃
	温度稳定性	±0.05℃(at 100℃) 可提升稳定性
	温度均匀度	±0.1℃/cm 可升级均匀性
	最小控温速度	±0.1℃/小时
	温度传感器	100Ω铂质RTD
	温控方式	直流式PID (变直流形式(LVDC)输出)
*其他技术参数请参考型号规格表

配置列表

标准	TC102S温控晶圆夹盘	选1
	TC104S温控晶圆夹盘
	mK2000温度控制器软件免费，控制线有多种接口供选	√
	外壳水冷配件用常温水或冰水循环防止外壳过热	√
升级	提升热台的最高温度
选配	固定支架把夹盘固定在使用平台上，防止滑动
	温控联动显微镜相机温度-图像联动工作，附软件
*注：产品有多种配置变化，详询上海恒商

型号规格表

型号	盘面尺寸	适用样品尺寸	温度范围	最大制热速度
TC102S	40 mm	8 mm ~ 40 mm	-25℃ ～ 90℃ 可提升温度范围	+30℃/分钟(at 37℃)
TC104S	40 mm	8 mm ~ 100 mm	-25℃ ～ 90℃ 可提升温度范围	+30℃ /分钟(at 37℃)

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