方案摘要
方案下载应用领域 | 其他 |
检测样本 | 其他 |
检测项目 | |
参考标准 | 通过CE认证 |
本方案能让平常只能在常温下进行样品电测试的探针台,增加样品温控的功能。这样有几个好处: 【一】成本低。在探针台上多加个高低温晶圆夹盘/温控晶圆卡盘就能做温控条件下样品探针测试,相当于一个温控探针台; 【二】技术权威。Instec冷热台控温好,-190℃~600℃上下通吃,稳定性不差于0.05℃,台面温度低梯度,表面粗糙度低。台面能接地能电悬空,设备还能通3轴接口。这是出自美国名校科罗拉多大学的Instec其30年经验历史保证;
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