英斯特科温控探针台真空/气密 HCP421V-PM 美国Instec_价格-上海恒商精密仪器有限公司

温控探针台真空/气密 HCP421V-PM 美国Instec

参考价：¥5万 - 10万

型号：

HCP421V-PM

产地：

美国

品牌：

英斯特科

评分：

应用领域：

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产品详情

产品简介

HCP421V-PM可单独使用，也可搭配显微镜/光谱仪使用。其可在 -190℃ ~ 400℃ 范围内控温，同时允许探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。

功能特点

迷你温控探针台，可用于显微镜/光谱仪

-190℃~400℃ 可编程控温（负温需配液氮制冷系统）

28 mm x 30 mm加热区

可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用

BNC接口四探针，手动点针 *可选三同轴接口，用于pA级测试

可选增设腔内接线柱（样品接电引线）

可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK

*可做定制或改动，详询上海恒商

温控参数

温度范围	-190℃ ~ 400℃（负温需配液氮制冷系统）
传感器/温控方式	100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）
加热/制冷速度	+80℃/min （100℃时），-50℃/min （100℃时）
加热/制冷速度	±0.01℃/min
温度分辨率	0.01℃
温度稳定性	±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）
软件功能	可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线

电学参数

探针	默认为铼钨材质的弯针探针 *可选其他种类探针
探针座	杠杆式探针支架，点针力度更大，电接触性更好
点针	手动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置
探针接口	默认为BNC接头，可选三同轴接口 *可增设腔内接线柱（样品接电引线）
样品台面电位	默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口
非磁性改造	台体可改用非磁性材质制造，用于变温霍尔效应探针测试

光学参数

适用光路	反射光路 *另有透射光路型号
窗片	可拆卸与更替的窗片
物镜工作距离	8.5 mm *截面图中WD
透光孔	台面默认无通光孔，可增设通光孔以支持透射光路
上盖窗片观察	窗片范围φ38mm，视角±60.7° *截面图中θ1
负温下窗片除霜	吹气除霜管路

结构参数

加热区/样品区	28 mm x 30 mm
样品腔高	6.3 mm *样品厚度由探针决定
放样	打开上盖后置入样品再点针，关上盖后无法移动探针
气氛控制	可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用
外壳冷却	可通循环水，以维持外壳温度在常温附近
安装方式	水平安装或垂直安装
台体尺寸/重量	180 mm x 130 mm x 27 mm

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半导体 2021/02/25

温控探针台 真空/气密 HCP421V-PM 美国Instec

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