KLA P-170 台阶仪
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KLA P-170 台阶仪

参考价：面议
型号： P-170
产地： 美国
品牌： KLA
评分：
核心参数
优尼康科技有限公司
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产品详情

P-170 Stylus Profiler


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  P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪，可提供几纳米至一毫米的台阶高度测量功能，适用于生产环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。 P-170具有先进的图案识别算法、增强的光学系统和先进的平台，这保证了性能的稳定和系统间配方的无缝移植- 这是24x7生产环境的关键要求。


产品描述

  P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪，将行业的P-17台式系统的测量性能和经过生产验证的HRP®-260的机械传送臂相结合。 这样的组合为机械传送臂系统提供了极低的拥有成本，适用于半导体，化合物半导体和相关行业。 P-170可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。


    该系统结合了UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描平台，因而具备出色的测量稳定性。通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能，程序设置简便快速。P-170具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法，可以支持2D或3D测量。并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。


主要功能

  •       台阶高度：几纳米至1000μm

  •       微力恒力控制：0.03至50mg

  •       样品全直径扫描，无需图像拼接

  •       视频：500万像素高分辨率彩色摄像机

  •       圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

  •       软件：简单易用的软件界面

  •       生产能力：通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化

  •       晶圆机械传送臂：自动加载75mm至200mm不透明（例如硅）和透明（例如蓝宝石）样品


主要应用

  •       台阶高度：2D和3D台阶高度

  •       纹理：2D和3D粗糙度和波纹度

  •       形状：2D和3D翘曲和形状

  •       应力：2D和3D薄膜应力

  •       缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌


工业应用

  •       半导体

  •       化合物半导体

  •       LED：发光二极管

  •       MEMS：微机电系统

  •       数据存储

  •       汽车

  •       还有更多：请与我们联系以满足您的要求




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KLA台阶仪P-170的工作原理介绍台阶仪P-170的使用方法?KLAP-170多少钱一台?台阶仪P-170可以检测什么？台阶仪P-170使用的注意事项？KLAP-170的说明书有吗？KLA台阶仪P-170的操作规程有吗？KLA台阶仪P-170报价含票含运吗？KLAP-170有现货吗？

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