型号: | P-7 |
产地: | 美国 |
品牌: | KLA |
评分: |
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P-7支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量,适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。
P-7建立在市场领先的P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17技术的强大测量性能,并作为台式探针轮廓仪平台提供了超高的性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。
台阶高度:几纳米至1000μm
微力恒力控制:0.03至50mg
样品全直径扫描,无需图像拼接
视频:500万像素高分辨率彩色摄像机
圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差
软件:简单易用的软件界面
生产能力:通过测序,模式识别和SECS / GEM实现全自动化
台阶高度:2D和3D台阶高度
纹理:2D和3D粗糙度和波纹度
形状:2D和3D翘曲和形状
应力:2D和3D薄膜应力
缺陷复检:2D和3D缺陷表面形貌
大学、研究实验室和研究所
半导体和化合物半导体
LED:发光二极管
太阳能
MEMS:微机电系统
数据存储
汽车
医疗设备
重复性:≤4A (0.10%)
垂直分辨率: 0.01A
水平分辨率(X): 0.025 um
水平分辨率(Y): 0.5 um
采样率: 5~2000 Hz
垂直线性度:
士0.5%>2000A.
10As 2000 A
针压范围: 0. 03~50 mg
最大测量长度: 150 mm
(无需拼接)
扫描速度:2 um/s - 25 mm/s
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