一种新型的扫描探针显微镜（SPM）和扫描电子显微镜（SEM）关联成像系统简介

广州科适特科学仪器有限公司

2018/12/05 10:53

LiteScope™是一种独特的扫描探针显微镜（SPM）。它设计用于轻松集成到各种扫描电子显微镜（SEM）中。组合互补的SPM和SEM技术使其能够利用两者的优势。使用LiteScope™及其可更换探针系列，可以轻松进行复杂的样品分析，包括表面形貌，机械性能，电性能，化学成分，磁性能等的表征。

相关探针和电子显微镜™（CPEM）结合了SPM和SEM技术。 CPEM可以同时在同一协调系统中同时获取同一区域的SPM和SEM图像。结合SPM和SEM成像方法可以得到分析区域的更广泛的信息光谱，从而揭示两种图像中可能存在的等同性和不一致性。

工作原理

将样品连接到压电扫描仪。电子束焦点和SPM探针在CPEM图像采集期间仍然是。感兴趣的区域由压电扫描器逐点扫描并发出信号同时对SEM检测器和SPM探针进行采样，以便进行测量放在同一个协调系统中。在SPM探针和该范围内的聚焦电子束之间存在恒定的探针/点偏移数百纳米。如果减去这样的探针/点偏移，则SEM和SPM图像具有完美匹配和优异的相关性可以获取CPEM图像。