新型扫描探针显微镜（SPM）和扫描电子显微镜（SEM）关联成像技术介绍

2018/12/04   下载量： 8 次

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应用领域 地矿
检测样本 稀土/稀有金属
检测项目
参考标准 100nm

LiteScope™是一种独特的扫描探针显微镜（SPM）。 它设计用于轻松集成到各种扫描电子显微镜（SEM）中。 组合互补的SPM和SEM技术使其能够利用两者的优势。使用LiteScope™及其可更换探针系列，可以轻松进行复杂的样品分析，包括表面形貌，机械性能，电性能，化学成分，磁性能等的表征。

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新型扫描探针显微镜（SPM）和扫描电子显微镜（SEM）关联成像系统简介

LiteScope™是一种独特的扫描探针显微镜（SPM）。 它设计用于轻松集成到各种扫描电子显微镜（SEM）中。 组合互补的SPM和SEM技术使其能够利用两者的优势。使用LiteScope™及其可更换探针系列，可以轻松进行复杂的样品分析，包括表面形貌，机械性能，电性能，化学成分，磁性能等的表征。

相关探针和电子显微镜™（CPEM）结合了SPM和SEM技术。  CPEM可以同时在同一协调系统中同时获取同一区域的SPM和SEM图像。 结合SPM和SEM成像方法可以得到分析区域的更广泛的信息光谱，从而揭示两种图像中可能存在的等同性和不一致性。

扫描探针显微镜2.jpg

工作原理

将样品连接到压电扫描仪。 电子束焦点和SPM探针在CPEM图像采集期间仍然可以感兴趣的区域由压电扫描器逐点扫描并发出信号，同时对SEM检测器和SPM探针进行采样，以便进行测量放在同一个协调系统中。 在SPM前端和该范围内的聚焦电子束之间存在恒定的前端/点偏移数百纳米。 如果减去这样的前端/点偏移，则SEM和SPM图像具有完美匹配和优异的相关性，可以获取CPEM图像。

关联显微镜.jpg

CPEM技术的优点

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文献贡献者

广州科适特科学仪器有限公司
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