原子力显微镜扫描电镜关联成像在纳米颗粒、石墨烯的三维表面形貌,深度轮廓,表面粗糙度测量应用

2019/01/13   下载量: 4

方案摘要

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应用领域 材料
检测样本 石墨烯
检测项目
参考标准 0.2nm-0.07 nm

LiteScope显微镜优势 整合了AFM和SEM的技术优势,首创型的同步原子力和电镜的成像 获得前所未有的图像信息 即插即用的解决方案–方便使用 整合表面特征的工具 SEM – 图像, 化学分析, 表面修饰 AFM – 3D 表面形貌,粗糙度,导电性,电子特性 相关显微镜 – CPEM (探针显微镜和电子显微镜关联)

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配置单
方案详情

一种新型的扫描探针显微镜(SPM)和扫描电子显微镜(SEM)关联成像系统简介

LiteScope是一种独特的扫描探针显微镜(SPM)。 它设计用于轻松集成到各种扫描电子显微镜(SEM)中。 合互补的SPMSEM技术使其能够利用两者的优势使用LiteScope及其可更换探针系列,可以轻松进行复杂的样品分析,包括表面形貌,机械性能,电性能,化学成分,磁性能等的表征

相关探针和电子显微镜™(CPEM)结合了SPM和SEM技术。  CPEM可以同时在同一协调系统中同时获取同一区域的SPM和SEM图像。 结合SPM和SEM成像方法可以得到分析区域的更广泛的信息光谱,从而揭示两种图像中可能存在的等同性和不一致性
   
    

工作原理

将样品连接到压电扫描仪。 电子束焦点和SPM探针在CPEM图像采集期间仍然是感兴趣的区域由压电扫描器逐点扫描并发出信号同时对SEM检测器和SPM探针进行采样,以便进行测量放在同一个协调系统中。 在SPM探针和该范围内的聚焦电子束之间存在恒定的探针/点偏数百纳米。 如果减去这样的探针/点偏移,则SEM和SPM图像具有完美匹配和优异的相关可以获取CPEM图像。

CPEM技术的优


 

 

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