| 型号： | GDR-30PR |
| 产地： | 山东 |
| 品牌： | 戈德尔 |
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>> 产品特点
台式小型机，PLC人机全自动控制，内置平板电极，RIE、PE模式转换，用于低污染及高洁净材料表面清洗、刻蚀、活化等工艺，适用于实验室及小批量工业化生产。
>> 技术参数
◆ 设备外形尺寸
630(W)×650(D)×420(H)mm
◆ 仓体结构(合金铝，约30升)
290(W)×290(H)×360(D)mm
◆ 放电电极(内置电容耦合电极)
180(W) ×210(D) mm
◆ 等离子发生器
频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配
可选择40KHZ中频等离子发生器
◆ 控制系统
触摸屏（7寸）+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件, 并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统
德国莱宝(Leybold)真空泵 D16C (20m3/h)
SMC截止阀、充气阀，德国(Inficon)压力传感器
◆ 压力控制
PID闭环自动稳压控制（专利技术），控制精度±1Pa
◆ 气路系统
2路工艺气体配置，电子质量流量计、针阀，美国飞托克(FITOK)气体管路
>> 相关应用
- 材料清洗、活化
- 表面改性处理
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