传感器null检测 | 深度制冷直接探测CCD相机在XUV、软X射线和极紫外（EUV）光谱中的应用-北京睿光科技有限责任公司

方案摘要

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应用领域	半导体
检测样本	传感器
检测项目
参考标准	/

在研发过程中，工程师发现发现这种直接检测CCD和光栅的组合可以简化设置。使用宽度为25um或更小的狭缝，可以很容易地检测到汞184.9nm的发射线。这意味着可以在不制冷的传感器甚至光谱仪中没有真空的情况下观察到汞发射线。以这种方式在空气和环境温度CCD探测器中操作，可以在工作台上设置和聚焦251MX仪器。在初始测试期间，不需要操作真空系统或提高探测器的性能。

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配置单

Eagle XO法兰安装型X射线相机紫外成像仪
型号：Eagle XO

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方案详情

总部位于Chelmsford, MA的McPherson Instruments是一家设计精确分析工具的公司，旨在帮助科学家和科研人员研究从红外到软x射线和短紫外波长区域的分子和原子光谱。他们的251MX型平场光谱仪使用具有非球面波前的球面基板光栅，用于深紫外和软x射线区域工作的像差校正高分辨率光谱仪的记录。该仪器是软x射线、极紫外（EUV）和真空紫外析的理想选择。长焦距和直光谱线提供了良好的光谱分辨率。光谱仪非常适合与直接检测CCD探测器一起使用。该组合提供了快速、便捷的高能XUV光谱收集功能。

图1：使用氘光源获取的全传感器图像：（短波长Lyman-α朝向右侧）

McPherson能够用深度制冷（-80℃）CCD收集光谱，Eagle 47-10具有1024 x 1024像素的传感器和13*13um的像素。

如图1所示，有足够的波长范围可以看到完整的氘发射光谱。

在研发过程中，工程师发现发现这种直接检测CCD和光栅的组合可以简化设置。使用宽度为25um或更小的狭缝，可以很容易地检测到汞184.9nm的发射线。这意味着可以在不制冷的传感器甚至光谱仪中没有真空的情况下观察到汞发射线。以这种方式在空气和环境温度CCD探测器中操作，可以在工作台上设置和聚焦251MX仪器。在初始测试期间，不需要操作真空系统或提高探测器的性能。

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