卡博莱特盖罗真空炉CarboliteGero HBO
卡博莱特盖罗梯度管式炉
带SiC加热棒的高温炉HTC
炉腔上下部分别装有硅碳加热元件,R型热电偶保证高温度时的均一性;微处理PID控制器可防止超温。
高端CVD系统
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